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第九十一章,激光平面干涉测量仪(第1/3页)

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    用光伏半导体来测试非接触式掩膜光刻机的底板(掩膜)寿命确实非常快捷。

    这一天的试生产一共刻了200片单晶硅。在北京和上海的直接接触式掩膜光刻机,底板寿命就是200次。

    底板和硅片/光刻胶直接接触,无论怎样轻拿轻放,磨损和污染都是不可避免的。大概从第40片开始,底板图案出现破损,光刻胶晒出的图案就出现瑕疵,出产的芯片良品率逐渐下降。第200片是个临界点,再继续使用这个底板,良品率已经低到不划算的地步,这块底板就该报废,该换一块新的了。

    但是制作一块底板的价格可不便宜……

    长春的这条生产线,第200片单晶硅的良品率和第1片并没有什么明显变化。把每片单晶硅的良品率做成表格,第20片有一个小高点,第110片也有个小高点,但整个函数曲线很平缓。

    这就对上以前的理论计算了。当然非接触式光刻机的底板寿命也不是无限的,在长时间强激光烘烤下会慢慢老化变脆,但毕竟比物理磨损要轻多了。理论估算的底板寿命是2500片以上,才刻了200片,当然基本上不会有良品率下降的趋势。

    王大衍、黄坤倒是对生产出来的光伏电池啧啧称赞。

    “我看看啊,电路贴合上的太阳能电池只有这三块,三小块就把这个灯泡点亮起来了,如果是巴掌大的太阳能电池,那可能就能点亮屋子里的灯泡了。”王大衍说。

    “做一块雨伞这么大的太阳能电池,会不会连计算机都可以运行起来?”

    “如果不包括显示器,那可能都不用雨伞这么大的面积。”

    黄坤却想的是另一件事:“等一下我们去太阳底下再试试功率,强光手电的光强其实比太阳还差得很远呢。”

    王大衍这时候还是围着光伏半导体的硅片研究:“硅片能做成处理器,能当易失内存,能当存储器,还能变成太阳能电池,真的很神奇。”

    王大衍远在长春专攻光电仪器,对X小组鼓捣的最新种类的芯片不是特别熟悉。

    唐华:“半导体技术以后还有更神奇的应用。”

    等着吧,CCD已经在规划了。

    ……

    长春光学仪器厂。

    长光分出去两个厂,但本部还是有很多业务,这两年不断招募中专和大学生,人才梯度非常完整。

    “现在昆明光学仪器厂已经完成改建投产,昆光以后会重点放在军用普通型望远镜的生产,毕竟这个技术含量是稍微差一点儿。”

    唐华在长光见到了厂长、总工和副总工。

    “不过,苏六苏八还是留一个小车间保持低量生产,老带新,做一些望远镜,就当是给新入职的工人长长手艺。”

    “长光的新任务,是制造照相机和电影摄像机的光学镜片。”

    厂长对长光总是接到各种匪夷所思的新任务已经很习惯了。总工甚至已经跃跃欲试,并问了一句:

    “唐部长,那个,除了做光学镜片组,我们长光还可以开一个照相机分厂,生产照相机,然后还有电影摄像机……长春电影制片厂不就正在我们这儿吗。”

    唐华:“现在北京、上海、天津都在做相机,但这三个城市的照相机厂都是用的进口光学镜头。天津、北京用苏联镜头,上海照相机厂甚至用原装的美国镜头组。以后长光会是这几个照相机厂的镜片、镜头组供货商,整个相机长春不做,但是单个的镜头,长光未来是要做的。”

    “明白了,唐部长。”

    唐华:“照相机的核心器件是镜头,你们把这个东西做出来,做好了,那就是全国照相机摄像机产业最不可替代的龙头。”

    ……

    长光,第七光学镜片车间。

    七车间就是生产光刻机光学系统的地方。

    去年制造的试验光学系统用了半年时间,之后长光对工艺流程熟悉了、工人也熟练了,再加上两组人齐头并进,现在平均75天就可以生产一套光学系统。

    说是一个车间,其实是一个20x60米的大厂房,中间还被分隔成很多个工作区。

    镜片粗坯在这里先做铣磨,这其实就是粗磨,将镜片表面加工成差不多需要的模样,然后精磨固定R值。

    精磨完毕的镜片只完成了工作量的15%~20%,之后是抛光-清洗,循环数次。磨边、镀膜、有的镜片组合需要在车间胶合。

    “抛光粉这个小辅料也确实不简单,我们1952年开始做的时候低估抛光粉的重要性了,”总工说,“第一批生产的抛光粉并不好用,磨坏了一批镜片,还好只是苏六的镜片。”

    “七车间使用的抛光粉规格在全厂最高,我们是在今年2月才做出来的,此前直到19
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